小型一体化设计。 操作简单的触摸屏方式
从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。
经济型、通过等离子化气体的活性作用对处理对象表面进行 清洗
适用于研究开发的小型等离子清洗机。
小型、多段式等离子清洗机。
13.56MHz 高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP 双模式。
样品传输系统为模块式,便于组合。
样品传输系统